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1將真空泵和除害裝置的運行成本削減20％以上

 美國應用材料公司發布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運行成本較原來削減20%以上的系統“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來還計劃應用于蝕刻裝置。

Applied iSYS根據制程艙內的情況控制真空泵和除害裝置的運行。比如，應用于CVD裝置時，在成膜時及清潔時運行真空泵和除害裝置，其他時間使其處于備用狀態。這樣，可減少用電量及煤氣用量等。應用于半導體工廠的全部CVD工序時，每年可削減真空泵和除害裝置等的運行成本200萬美元以上。

據應用材料公司介紹，大型半導體廠商已相繼提出能源削減目標。在半導體工廠的能源消耗中，制造裝置占45%，制造裝置所附帶的裝置占42%，其余13%來自照明等

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